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【時(shí)訊科普】激光干涉儀原理

【時(shí)訊科普】激光干涉儀原理

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激光干涉儀的原理是基于干涉原理。激光干涉儀將從單個(gè)激光光源發(fā)出的光分成兩個(gè)光路。

這些分開的光路之一稱為“參考光路”,另一個(gè)稱為“測量光路”。

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當(dāng)被參考光路和測量光路分開的光重新組合時(shí),就會發(fā)生光干涉。通過檢測干涉引起的亮度變化,可以測量光路長度和形狀的微小變化。

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具體而言,當(dāng)光發(fā)生干涉時(shí),亮度會根據(jù)波的相位差而變化。如果相位差為0,

則干涉完美匹配,亮度最大。相反,如果相位差移動半個(gè)波長(180 度),干涉就會抵消,亮度就會最小化。

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當(dāng)其中一個(gè)測量光路的長度變化時(shí),與參考光路產(chǎn)生相位差,通過檢測該相位差,

可以高精度地測量測量目標(biāo)的形狀和移動量。

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